In Analogie zu einem Brennglas wird der Strahlfleck der Elektronenquelle mit einer magnetischen Linse auf einen Punkt auf dem Objekt fokussiert.
Dort entstehen Rückstreuelektronen (BSE), Sekundärelektronen (SE) und Energie in Form von Röntgenstrahlung und Wärme.
SE, BSE und die Röntgenstrahlung werden mit geeigneten Detektoren registriert und auf einem synchron betriebenen Monitor als Helligkeitssignal und als Röntgenspektrum dargestellt (Bild1).
Ein Erklärvideo zum Thema Elektronenmikroskopie findest du hier.
Entstehung von charakteristischer Röntgenstrahlung durch Elektronenbeschuss (Schalenmodell).
Röntgenlinien der K-, L- und M-Serie und ihre dazugehörigen Energieniveaus.
